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PMS電子遷移率光譜儀
- 更新時間：2022-11-21
- 產品型號：AirSentry® II
- 廠商性質：經銷商
- 產品品牌：其他品牌
- 產品廠地：北京市
- 訪問次數：2315
PMS電子遷移率光譜儀(yi) 用於(yu) 檢測空氣分子級汙染（AMC)，在監測到含酸類、胺類、氨以及氯化物氣體(ti) 時提醒用戶。它具有ppt級的靈敏度，傳(chuan) 感器反應迅速、監測選擇性廣、性能穩定。
AirSentry® II 電子遷移率光譜儀(yi) 用於(yu) 檢測空氣分子級汙染（AMC)，在監測到含酸類、胺類、氨以及氯化物氣體(ti) 時提醒用戶。它具有ppt級的靈敏度，傳(chuan) 感器反應迅速、監測選擇性廣、性能穩定。Air Sentry II傳(chuan) 感器配有中央控製軟件，可以輕鬆地采集分析數據。Air Sentry II傳(chuan) 感器提供連續可追溯的數據，來快速回應汙染源和汙染事件。
特點
酸類和基底（胺類、氨以及氯化物）的高靈敏度檢測
使用點、多點式、移動式監測應用的通用產(chan) 品配置
體(ti) 積小，可放在任何位置
以太網，RS-232, 4-20毫安輸出
優點
連續監測關(guan) 鍵點
耐久可靠的數據收集、控製、分析
長期數據穩定性
每份測試成本
應用
在蝕刻技術位置裏的實時腐蝕監測
在關(guan) 鍵的光刻係統內(nei) 的實時胺類以及氨的監測
化學過濾器有效率的資格確認
遍及潔淨室以及生產(chan) 工具裏的汙染源的追蹤和去除
前端開口片盒圓晶片存儲(chu) 模塊內(nei) 的汙染分析
