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混氣係統2路浮子

  • 更新時間:2022-11-21
  • 產品型號:CGM-2F
  • 廠商性質:經銷商
  • 產品品牌:合肥科晶
  • 產品廠地:國外
  • 訪問次數:1240

CGM-2F混氣係統2路浮子是一款小型的兩(liang) 通道混氣係統,用於(yu) 惰性氣體(ti) 的控製,可用以小型管式爐,手套箱,等離子清洗機,小型PECVD係統等。

CGM-2F混氣係統2路浮子

產(chan) 品概述:

CGM-2F是一款小型的兩(liang) 通道混氣係統,用於(yu) 惰性氣體(ti) 的控製,可用以小型管式爐,手套箱,等離子清洗機,小型PECVD係統等。

浮子流量計:兩(liang) 個(ge) 浮子流量計可以將流量速率控製在16 to 160 mL/min

混氣罐:內(nei) 置一個(ge) 不鏽鋼混氣罐,可以良好的混氣

機械壓力表(混氣罐):-0.1-0.15 MPa

關(guan) 鍵和閥門:

·采用ss304不鏽鋼

·三管件接口直徑為(wei) 1/4”(接管可選聚四氟或不鏽鋼)

外形尺寸:340 mm L x 300 D mm x 180 H mm

可選:

·CVD或者PECVD

·液相氣體(ti) 發生器

·1200℃微型二通道混氣CVD係統--OTF-1200X-S50-2F

·Plasma等離子清洗

淨重:約10 Kg                                                                                                                                                                                       

CGM-2F混氣係統2路浮子

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