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混氣係統3路浮子

  • 更新時間:2022-11-21
  • 產品型號:CGM-3F-PTFE
  • 廠商性質:經銷商
  • 產品品牌:合肥科晶
  • 產品廠地:國外
  • 訪問次數:1039

CGM-3F-PTFE混氣係統3路浮子是一種緊湊的三通道防腐氣體(ti) 混合輸送係統,可與(yu) 管式爐一起放入小煙囪中,更安全。所有被氣體(ti) 潤濕的部件都是由PTFE(例如閥、管、混合罐和流量計)製成。用於(yu) 輸送腐蝕性氣體(ti) ,如硫化氫(H2S)和硒化氫(H2Se),用於(yu) CVD處理。

CGM-3F-PTFE混氣係統3路浮子

產(chan) 品概述:

CGM-3F-PTFE混氣係統3路浮子可與(yu) 管式爐一起放入小煙囪中,更安全。所有被氣體(ti) 潤濕的部件都是由PTFE(例如閥、管、混合罐和流量計)製成。用於(yu) 輸送腐蝕性氣體(ti) ,如硫化氫(H2S)和硒化氫(H2Se),用於(yu) CVD處理。

浮動儀(yi) 表:

  • 三台聚四氟乙烯材質防腐浮子流量計,流量100-1000ml/min(0.1-1.0l/min)
  • 一個機械壓力表(混合罐):0~0.05 MPa,(0.02 MPa/砂礫)

閥門:三個(ge) 由聚四氟乙烯材料製成的針閥,用於(yu) 控製前麵板上的氣體(ti) 出口

儲(chu) 氣罐:

  • 500毫升聚四氟乙烯氣罐
  • 內置的氣體混合罐將來自三個入口通道的氣體混合並混合。

管件:

  • 由聚四氟乙烯製成的管件,可接受1/4“管道(尼龍或不鏽鋼)
  • 三個氣體入口,每個通道有一個獨立的氣體流量計。
  • 包括20'長1/4“PTFE管,可立即使用

尺寸:

  • 緊湊型尺寸:340Lx300DX180H,mm(13.4“x12”x7“)。
  • 淨重:16磅

航運:

  • 裝運尺寸:待定
  • 裝運重量:50磅

氧氣檢測:氧傳(chuan) 感器可用於(yu) 監測用於(yu) 防止或減少氧化的CVD係統中的氣體(ti) (ES)的氧含量。

  • 如果您的CVD處理涉及腐蝕性氣體,如H2S,請考慮在您的管式爐上使用聚四氟乙烯法蘭
  • 另外,請選擇耐腐蝕的幹式真空泵,而不是油真空泵
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