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真空旋轉塗膜機

  • 更新時間:2022-11-21
  • 產品型號:VTC-100PA
  • 廠商性質:經銷商
  • 產品品牌:合肥科晶
  • 產品廠地:國外
  • 訪問次數:1069

VTC-100PA真空旋轉塗膜機適用於(yu) 半導體(ti) 、晶體(ti) 、光盤、製版等表麵塗覆工藝。本機可用於(yu) 強酸、強堿性塗覆溶液的塗膜製備。

VTC-100PA真空旋轉塗膜機

產(chan) 品概述:

VTC-100PA真空旋轉塗膜機適用於(yu) 半導體(ti) 、晶體(ti) 、光盤、製版等表麵塗覆工藝。本機可用於(yu) 強酸、強堿性塗覆溶液的塗膜製備。

主要特點:                    

  • 真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
  • 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。
  • 根據樣件規格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
  • 設有12組程序,每組包含6個運行階段。
  • 電機啟動快速穩定,可以保證塗層厚度的一致性和均勻性。
  • 50W/24V 直流電機
  • 適於在Ar氣環境中工作(真空泵放置在手套箱外)

參數:

  • 電機功率:50W/24V
  • 速度範圍:500-10000rpm
  • 程序運行:可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段
  • 增減速率設置範圍:100rpm/s-2000rpm/s
  • 時間範圍:0-60s
  • 吸盤:Φ19mm、Φ60mm

進氣口:上蓋有一個(ge) 直徑6mm的進氣口可將需要的氣體(ti) 通入腔體(ti) ,實現在氣氛環境下旋轉塗覆

可選加熱部分:上蓋內(nei) 部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數字溫控器控溫,高120℃,可使得樣品塗覆後原位烘幹,用於(yu) 薄膜太陽能電池等研究。

產(chan) 品規格:

  • 尺寸:450mm×280mm×340mm;
  • 重量:20kg

 

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