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真空旋轉塗膜機
- 更新時間:2022-11-21
- 產品型號:VTC-100PA
- 廠商性質:經銷商
- 產品品牌:合肥科晶
- 產品廠地:國外
- 訪問次數:1069
VTC-100PA真空旋轉塗膜機適用於(yu) 半導體(ti) 、晶體(ti) 、光盤、製版等表麵塗覆工藝。本機可用於(yu) 強酸、強堿性塗覆溶液的塗膜製備。
VTC-100PA真空旋轉塗膜機
產(chan) 品概述:
VTC-100PA真空旋轉塗膜機適用於(yu) 半導體(ti) 、晶體(ti) 、光盤、製版等表麵塗覆工藝。本機可用於(yu) 強酸、強堿性塗覆溶液的塗膜製備。
主要特點:
- 真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
- 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。
- 根據樣件規格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
- 設有12組程序,每組包含6個運行階段。
- 電機啟動快速穩定,可以保證塗層厚度的一致性和均勻性。
- 50W/24V 直流電機
- 適於在Ar氣環境中工作(真空泵放置在手套箱外)
參數:
- 電機功率:50W/24V
- 速度範圍:500-10000rpm
- 程序運行:可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段
- 增減速率設置範圍:100rpm/s-2000rpm/s
- 時間範圍:0-60s
- 吸盤:Φ19mm、Φ60mm
進氣口:上蓋有一個(ge) 直徑6mm的進氣口可將需要的氣體(ti) 通入腔體(ti) ,實現在氣氛環境下旋轉塗覆
可選加熱部分:上蓋內(nei) 部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數字溫控器控溫,高120℃,可使得樣品塗覆後原位烘幹,用於(yu) 薄膜太陽能電池等研究。
產(chan) 品規格:
- 尺寸:450mm×280mm×340mm;
- 重量:20kg
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